Отримано вілемітову кераміку (Zn2SiO4) в інтервалі температур від 1280 до 1340 ◦C. Виявлено, що вілемітова кераміка має відмінні діелектричні властивості в міліметровому діапазоні хвиль: діелектрична проникність εr становить 6,6, добротність Q × f - 219 000 ГГц, а температурна добротність резонансної частоти τf - 61 ppm/◦C. Додаванням TiO2 з великим позитивним значенням τf (450 ppm/◦C) можна досягти близького до нуля значення τf в широкому діапазоні температур спікання. При додаванні 11 мас. % TiO2 значення εr 9,3, значення Q × f 113 000 ГГц і значення τf 1,0 ppm/◦C досягаються при 1250 ◦C. Також вивчено зв'язок між мікроструктурою та властивостями. Результати показують, що вілеміт з відповідним вмістом TiO2 є ідеальним термостабільним діелектриком з низьким εr і високою добротністю для застосування в міліметровому діапазоні хвиль.